對于MEMS靜電微鏡TM10和TM2520來說，靜電驅動的反射鏡結合了高指向穩定性和高填充因子，這是光纖組件通常需要的。微鏡的設計是為了盡量減少漂移、滯后和溫度依賴性性能等影響。使用靜電驅動設置角度。靜電驅動的反射鏡結合了高指向穩定性和高填充因子，這是光纖組件通常需要的。
概述
sercalo MEMS三維反射鏡用于準確的光束控制。為了避免光反饋回路，微鏡的設計使漂移、遲滯和溫度相關性能等影響小化。使用靜電驅動設置角度。靜電驅動的反射鏡結合了高指向穩定性和高填充因子，這是光纖組件通常需要的。駕駛員電子設備可根據要求提供。
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